系統(tǒng)可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅(qū)動的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內(nèi)可以實現(xiàn)同質(zhì)膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

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*1：靜態(tài)精度或可稱為同點位多次連續(xù)測量的最大偏差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結(jié)果

*2：多次取放測量同點位數(shù)據(jù)的最大三倍標準差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結(jié)果